<wbr id="apkhy"></wbr>

  • <nav id="apkhy"><table id="apkhy"></table></nav>
    <sub id="apkhy"><listing id="apkhy"></listing></sub>
    <nav id="apkhy"></nav><sub id="apkhy"><listing id="apkhy"><small id="apkhy"></small></listing></sub>
    語言選擇: 中文版 ∷  英文版

    光刻系統

    • 無掩膜光刻機 激光直寫設備
    無掩膜光刻機 激光直寫設備

    無掩膜光刻機 激光直寫設備

    • 產品描述:無掩膜光刻機 激光直寫設備

    無掩模光刻機/紫外激光直寫設備

    PICOMASTER 100


    市場上使用375納米激光器的最高分辨率300納米的結構

    375納米激光源,可用于要求更高的應用

    緊湊型光學模塊:使用備用光學模塊減少革命性的機器停機時間

    用戶友好操作

    獨特的研發機會

    375nm光學模塊將允許系統最小線寬達到300納米

    能力

    -市場上使用壽命長的375納米激光器的最高分辨率。

    -最小線寬達到300納米

    -高達4095級的直寫灰度

    -375納米激光可用于要求更高的應用。

    -光柵模式和矢量模式可用。

    -軟件可控制的寫入模式選擇。

    -實時自動聚焦成為可能。

    -支持從5x5mm24“x4”的基板

    操作

    -現代的基于Microsoft Windows的用戶界面允許用戶友好的操作。

    -高度自動化的處理,一鍵操作。

    -遠程互聯網支持

    安裝和維護

    -Picomaster100是一個緊湊的桌面系統,需要最小的清潔空間。

    -緊湊型光學模塊:使用備用光學模塊來減少機器停機時間。

    -安裝快速方便:除操作PC和真空泵外,所有主要部件

    安裝在外殼內。

    -維護成本最低,無需定期維護。

    緊湊型光學模塊,具有卓越的穩定性和革命性的短停機時間

    完整的光學路徑包含在一個小的可更換模塊(光學模塊)中。通過盡可能短的優化路徑,與傳統的優化設置相比,點穩定性大大提高。光學模塊包含壽命長的375 nm激光和最佳光斑形狀的光束整形光學元件。

    特征:

    -市場上最小的高品質激光束光斑。

    -集成的650納米紅色激光控制自動對焦系統自動糾正高度變化。

    -綜合劑量控制。

    -選項:對于要求較低的任務,可以使用全自動NA開關選擇較大的光斑尺寸。此開關允許系統使用更大的點以提高速度。

    光學特性

    激光源375納米

    壽命>10000小時

    寫入模式:0.3μm,可選0.6μm0.9μm FWHM

    工作距離0.6毫米

    最大強度為3 mW,軟件可控。

    灰度控制4095

    自動對焦800 Hz band寬,650nm 紅光激光控制

    -0.3…x…+0.3 mm高度變化,帶自動高度跟蹤。

    快速的音圈執行器,精確的實時Z校正。

    焦距可通過軟件控制進行調整。

    正面對準

    光學模塊配備高分辨率攝像機,用于需要多層的應用。相機圖像由高級成像軟件處理。自動標記識別使用戶很容易找到標記。用戶可以設定任何形狀作為標記。當在相機的視場中找不到標記時,軟件支持區域掃描,以便在更大的區域中自動搜索標記。對齊和圖像補償可以基于一個、兩個或三個標記。

    正面對準指標:

    校準照相機單色520萬像素。

    像素分辨率1μm

    最終對準精度 0.1μm

    修正算法通過掃描和步進軸之間的插值運動進行位置、比例(最大5%)、傾斜、旋轉(最大+/-5度)旋轉修正。

    Picomaster100配備了用于XY運動的高精度軸和一個用于Z運動的可選軸。掃描軸(Y)包含一個高精度燕尾形空氣軸承,該軸承由帶納米分辨率編碼器的直線電機驅動。步進軸(X)采用帶直線電機和高分辨率光學編碼器的精密滾子軸承。該系統允許極低的機械誤差和快速掃描運動。可選的電動控制Z軸具有12 mm行程,以支持各種基板厚度。

    用真空吸盤夾緊基板。真空吸盤易于更換,以支持不同的基板尺寸。

    機械性能

    行程和階梯最大115 mm

    重復性<20 nm RMS

    分辨率2納米

    掃描速度最大200 mm/s

    直線度軸 <0.5μm,在100 mm范圍

    樣品厚度:0-4 mm手動調整;12 mm,安裝可選電動Z軸。

    基板厚度變化最大值+/-0.15mm




    聯系我們

    CONTACT US

    聯系人:張垚

    手機:13916855175

    電話:021-56035615

    郵箱:info@crosstech.com.cn

    地址: 上海市楊浦區松花江路251弄白玉蘭環保廣場3號902室

    伊人网青青视频|国产情侣偷拍色情久久|成娱导航|bt工厂下载

    <wbr id="apkhy"></wbr>

  • <nav id="apkhy"><table id="apkhy"></table></nav>
    <sub id="apkhy"><listing id="apkhy"></listing></sub>
    <nav id="apkhy"></nav><sub id="apkhy"><listing id="apkhy"><small id="apkhy"></small></listing></sub>