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半導體輔助設備

  • 高溫爐(氫化爐,超高真空)
高溫爐(氫化爐,超高真空)

高溫爐(氫化爐,超高真空)

  • 產品描述:高溫爐(氫化爐,超高真空)


氫化爐



正壓冷壁爐在氫氣或任何高達2100°C的還原/惰性氣氛中運行,是許多需要無氧環境的高溫過程的理想解決方案。根據您的要求,可在幾分鐘或幾天內輕松可靠地達到所需溫度。一個標準的,可編程的鼓泡器可以用來產生濕氫,以進一步幫助清除碳氫化合物污染物時,干燥的大氣是不需要的。此外,可選的加熱鼓泡器和露點監測器可用于輕松實現和控制陶瓷金屬化所需的較高露點。我們的大多數車型都將通過一個標準的內部門框,幾乎沒有解構。我們所有的爐子都是全自動的。一鍵按下執行:

凈化(用氮氣置換室內的空氣)

工藝氣體填充

用于工藝氣體增濕的鼓泡器

PID控制升溫至目標溫度

浸泡

冷卻

后吹掃(用氮氣置換室內的工藝氣體,以確保安全打開)

如果工藝允許的話,氫爐提供了一種低成本的高真空爐替代品。它們是自清潔的,運行和維護成本低廉,氫中的過程冷卻是快速和可控的。盡管這些熔爐是專門為在氫氣氛中安全運行而建造的,但它們同樣可以在任何惰性氣體或還原性氣體(如氬、氮、生成氣體(游離氨)、氦或任何組合中輕松運行。

真空高溫爐


高真空冷壁爐操作簡單,易于編程。在高真空或高達2100°C的分壓環境中運行部件。根據您的要求,在幾分鐘或幾天內輕松可靠地達到所需溫度。

適用于真空清潔燃燒、活性金屬(ABA®釬焊)和高度控制的真空退火。真空爐也適用于其它金屬在氣體中加熱時反應不良的工藝,如鈦或鈮。對于銅和銀等高真空低汽化點金屬的超清潔釬焊,分壓操作也是一個很好的選擇。

標準渦輪分子泵是可靠的,安靜和清潔。環境溫度下的典型真空度為10-7托。溫度下的工藝真空通常為10-6托,這取決于零件排氣。如果需要更好的真空度,離子泵或低溫泵可供選擇。

其他選擇包括:額外的測量熱電偶(靈活類型的K’)以幫助過程工程,塔指示燈匹配設施要求,計算機控制,殘余氣體分析儀,結合氫操作,以及更多。如果您有任何特殊要求,請告訴我們,我們很高興找到滿足它們的方法。

我們所有的熔爐都內置在一個緊湊的軋制機架中,易于放置在任何生產環境、潔凈室或實驗室中。我們的全耐火金屬熱區易于疏散,并保持更長時間的清潔。完全自動,一鍵啟動運行,無需監督。

隨著生產需求的增加,我們客戶可以很容易地轉移到一個更大的單元和熱區,具有完全相同的易于使用的編程功能和過程控制。



八元熔接站-----------完整的質量保證解決方案

該機器在高真空水冷室中有八個高電流穿導連接件,連接到由專用PC控制的獨立機架式電源。客戶可以在高真空下對其部件進行激發和除氣,同時也可以通過所需的應力測試和正常運行。通過磨合和徹底測試這些特定的零件,并在最終組裝前消除潛在的問題,客戶能夠大大節省其生產成本。

GVAC自動裝料爐---------全機械手解決方案

全自動高真空自動裝料爐。能夠在高真空條件下(如有必要,可采用不同的加熱方式)同時處理多達五個不同批次(最高1200°C)。零件放在旋轉轉盤上的鉬籃中,并通過機械臂裝入爐腔。完成的零件返回轉盤,在高真空室中在室溫下冷卻,其余零件運行。

自動裝料真空爐設計用于重復真空釬焊、脫氣和其他工藝負載,直徑可達(150 mm6英寸,深度可達(250 mm10英寸。自動裝料機構和爐子控制由我們最先進的計算機控制,使用軟件執行。通過250/秒渦輪分子泵將溫度控制在1250攝氏度,壓力范圍為10-6Torr。熔爐和真空控制、泵系統和聯鎖裝置集成在一個全自動裝置中,以確保簡單可靠的操作。

冷壁型,立式,頂部裝載/高真空

最高溫度1250℃

熱區空間:直徑6.5”165mm)。x 10”250毫米)深

框架尺寸:72英寸(183厘米)寬x 28英寸(72厘米)深x 60英寸(150厘米)H

電源要求:240V 160A 50 Hz12KW

控制:計算機控制,實體軟件,英文版本

氣體要求:25–50 psig,氮氣(1/4“世偉洛克)2-3bar

壓縮空氣:80–100 psi1/4“世偉洛克)6bar

K”型鉻/鋁 熱電偶

設備重量: 1000千克--1500千克

上室門,直徑12“300 mm

數據采集: 計算機軟件

每次運行5個樣品盒

工藝容器尺寸: 5.7”145mm)直徑x 6.2”160mm)高

樣品盒最大允許重量2.5kg




高溫時工藝真空在10–6Torr范圍

室溫下在10-7Torr范圍

上腔室真空在5.0–4Torr范圍

用戶壓力測量用附加法蘭(NW-25

上腔室有多個窗口,用于查看產品轉移和照明

產品溫度監測室中的多個熱電偶

冷卻要求:

每分鐘3加侖25 psig。注意最大背壓為15 psig

升溫速率每分鐘50攝氏度-空室。

加熱元件和隔熱罩由鉬制成。

標準配置:

300 LPS渦輪泵

高真空隔離閥

Triscoll 300干泵X2(粗泵和前置泵)

連鑄機上的設備

計算機控制

燈塔指示燈-3

瓦特洛SD超溫控制

50個項目-每個項目15個部分

全自動-一鍵啟動運行。它會自動裝載一個樣品盒

泵送并切換至高真空-加熱至溫度并浸泡-冷卻-卸載、重新加載

最多處理5個樣品盒,排放到氮氣中。

屏蔽式超高真空烘烤站

抽空、激發和烘烤x射線部件

一個超高真空泵和x射線管烘烤站。大型屏蔽盒,在歧管周圍安裝有鉛窗,使用戶在操作過程中可以安全地激發其部件。三級泵(干渦旋泵、渦輪分子泵和離子泵)到處都有加熱帶,輕松實現超高真空。



熱電偶校準站

卓越的一致性和易用性

使用7個直徑不超過1/4“的測試端口,該機器將測試精度為±0.25°C的熱電偶。兩個端口用于插入參考熱電偶或光學高溫計,用于基線測試。簡單的微處理器控制是穩定的,易于使用,并創造一個高度可重復的環境。


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